'±â¼ú ³ëº§»ó' ALD·Î ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÇüÈ ±â¿© ¼±Åç¶ó ¹Ú»ç ¼ö»ó
"Ãʹڸ· Àý¿¬, Àüµµ Çʸ§ ALD ±â¼ú ÀÖ¾î¾ß¸¸ °¡´É"
¿ÃÇØ·Î 8ȸ¸¦ ¸Â´Â ±â¼ú°èÀÇ ³ëº§»óÀÎ '¹Ð·¹´Ï¾ö ±â¼ú»ó'Àº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡ ÀÌ¿ëµÇ´Â '¿øÀÚÃþ ÁõÂø(Atomic Layer Deposition)' ±â¼úÀ» °³¹ßÇØ º¹ÀâÇÑ ÀåÄ¡ÀÇ ¼ÒÇüÈ¿¡ ±â¿©ÇÑ Çɶõµå Àç·á¹°¸®ÇÐÀÚ Åõ¿À¸ð ¼±Åç¶ó(74) ¹Ú»ç°¡ ¹Þ¾Ò´Ù.
23ÀÏ ¿Ü½Å¿¡ µû¸£¸é °Ý³âÁ¦·Î ÀÌ »óÀ» ½Ã»óÇØ ¿Â Çɶõµå±â¼ú¾ÆÄ«µ¥¹Ì´Â ¼º¸íÀ» ÅëÇØ "ALD Çõ½ÅÀº ¼¼°è µµÃ³¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â ³ª³ë±Þ ±â¼ú"À̶ó¸ç "¸¶ÀÌÅ©·ÎÇÁ·Î¼¼¼³ª ÄÄÇ»ÅÍ ¸Þ¸ð¸® ÀåÄ¡¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Ãʹڸ· Àý¿¬, Àüµµ Çʸ§Àº ¼±Åç¶ó°¡ °³¹ßÇÑ ALD ±â¼úÀÌ ÀÖ¾î¾ß¸¸ °¡´ÉÇÑ °Í"À̶ó°í ÁöÀûÇß´Ù.
ALD´Â ÄÄÇ»ÅÍ¿Í ½º¸¶Æ®Æù, ¸¶ÀÌÅ©·ÎÇÁ·Î¼¼¼, µðÁöÅи޸ð¸®ÀåÄ¡ µî¿¡ »ç¿ëµÇ¸é¼ °í¼º´É ¼ÒÇüÈÀÇ ±æÀ» ¿¬ °ÍÀ¸·Î Æò°¡µÇ°í ÀÖ´Ù. ¿À´Ã³¯ ALD Çʸ§ Á¦Á¶¿¡ ÀÌ¿ëµÇ´Â Àåºñ¿Í ÈÇÐÁ¦Ç°Àº ½ÃÀå ±Ô¸ð°¡ 200¾ï ´Þ·¯¿¡ ´ÞÇϸç, ÀÌ ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ´Â °¡ÀüÁ¦Ç°Àº 5õ¾ï´Þ·¯ ÀÌ»ó¿¡ ´ÞÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤µÇ°í ÀÖ´Ù.
¼ö»óÀÚ¼±Á¤À§¿øȸÀÇ ÆÄÀ̺ñ Å丣¸¶ À§¿øÀåÀº ÀÌ ±â¼úÀ» ÅëÇØ Á¤º¸±â¼ú(IT) ÀåÄ¡ÀÇ °í¼º´É ¼ÒÇüÈ¿Í ÇÔ²² °¡°ÝÀÌ ´õ ½ÎÁ® "IT ¼ÒÀ¯±¸Á¶ÀÇ ¹ÎÁÖÈ"¿¡µµ ±â¿©Çß´Ù°í ¹àÇû´Ù. ¼±Åç¶ó´Â 1974³â º´¿ø¿¡¼ »ç¿ëÇÏ´Â ºÎÇÇ°¡ Å« ¸ð´ÏÅ͸¦ Æò¸é ÀüÀå(ï³íÞ)¹ß±¤ ½ºÅ©¸°À¸·Î ´ëüÇÏ´Â °úÁ¤¿¡¼ ¿¾ ¼Ò·ÃÀÇ ¿øõ±â¼úÀ» È°¿ëÇØ ÀÌ ±â¼úÀ» °³¹ßÇß´Ù. ÀÌÈÄ 1990³â´ë¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è°¡ Ãʹڸ·Ãþ Á¦Á¶¿¡ ÀÌ ±â¼úÀ» äÅÃÇÏ¸é¼ È¹±âÀû ±â¼ú·Î ¹ßÀüÇÏ°Ô µÆ´Ù.
Çï½ÌÅ°°ø´ë¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼¹°¸®ÇÐ ºÐ¾ß ¹Ú»ç ÇÐÀ§¸¦ ¹ÞÀº ¼±Åç¶ó´Â Çɶõµå ±¹¸³ ±â¼ú¿¬±¸¼ÒÀÎ VTT¿¡¼ ÀÏÇÏ´Ù ¹Î°£±â¾÷À¸·Î ¿Å°Ü ¿¬±¸À̻縦 Áö³»±âµµ Çß´Ù. ÇöÀç ÀºÅðÇØ ¾ÆÀν´Å¸ÀÎÀÇ »ó´ë¼º ÀÌ·ÐÀ» ´Ù½Ã µé¿©´Ùº¸°í ÀÖ´Ù´Â ±×´Â 10´ë ¶§ Ä£±¸¿Í ÇÔ²² ¶óµð¿À¸¦ ¸¸µé¸é¼ ¹°¸®Çп¡ óÀ½ °ü½ÉÀ» °®°ÔµÈ °ÍÀ¸·Î ¹àÇû´Ù.
±×´Â ¼ö»ó ¿¬¼³À» ÅëÇØ "¹Ð·¹´Ï¾ö ±â¼ú»óÀ» ¹ÞÀº °ÍÀº (ALD) Çõ½ÅÀÌ ¸¹Àº ºÐ¾ß¿¡ Àû¿ëµÅ ÀηùÀÇ »îÀÇ ÁúÀ» °³¼±ÇÏ´Â µ¥ À¯¿ëÇß´Ù´Â Á¡À» ÀÔÁõÇÏ´Â °ÍÀ̶ó´Â Á¡¿¡¼ ƯÈ÷ ´õ ¿µ±¤"À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
¼±Åç¶ó ¹Ú»ç´Â ¹Ð·¹´Ï¾ö ±â¼ú»ó°ú ÇÔ²² »ó±ÝÀ¸·Î 100¸¸ À¯·Î(12¾ï6õ900¸¸¿ø)¸¦ ¹Þ¾Ò´Ù. ¹Ð·¹´Ï¾ö ±â¼ú»óÀº 2004³â¿¡ ¸¸µé¾îÁ³À¸¸ç, ½ÇÁ¦ »ýÈ°¿¡ ÀÌ¿ëµÅ "Àΰ£ÀÇ »îÀÇ ÁúÀ» °ÈÇÏ´Â" Çõ½ÅÀû ±â¼úÀ» ã¾Æ³» ½Ã»óµÅ ¿Ô´Ù. Çɶõµå±â¼ú¾ÆÄ«µ¥¹Ì´Â ±â¼ú°èÀÇ ³ëº§»óÀ» ¸ñÇ¥·Î Ç쵂 ³ëº§»óÀÌ Áö³ªÄ¡°Ô Ʋ¿¡ ¹ÚÈ÷°Å³ª ¼ö½Ê ³â¾¿ À̾îÁö´Â °úÇÐÀû ¿¬±¸¿¡ Ä¡¿ìÃÄÀÖ´Ù´Â ºñ³À» °í·ÁÇØ À̸¦ Áö¾çÇÏ°í ÀÖ´Ù.
Áö±Ý±îÁö ¿ùµå¿ÍÀÌÆ®À¥(WWW)¸¦ ¸¸µç ÆÀ ¹ö³Ê½º ¸®, ¸®´ª½º ¿î¿µÃ¼Á¦(OS)¸¦ ¸¸µé¾î °ø°³ÇÑ ¸®´©½º Åä¹ßÁî, ÀϺ» Áٱ⼼Æ÷ ¿¬±¸ÀÚ ¾ß¸¶³ªÄ« ½Å¾ß(ߣñéãáÚ¯) µîÀÌ ÀÌ »óÀ» ¼ö»óÇß´Ù.
¿¬ÇÕ´º½º=³ëº§»çÀ̾𽺠science@nobelscience.co.kr
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ³ëº§»çÀ̾ð½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>